ka | en
ავტორიზაცია
TiO2 - ის ელექტრული და ოპტიკური თვისებების კვლევა
ავტორი: ზურაბ ყუშიტაშვილისაკვანძო სიტყვები: დიელექტრიკი, დაბალი ტემპერატურა, კატალიზატორი
ანოტაცია:
მიკრო და ნანოელექტრონული ხელსაწყოების შექმნის ერთ-ერთ ძირითად ელემენტს წარმოადგენს დიელექტრიკი, რომლის ოპტიკური და ელექტრული თვისებები განსაზღვრავს მის ფართო გამოყენებას ინტეგრალური მიკროსქემების შექმნის ინდუსტრიაში. დიელექტრიკული ფირების ფორმირების სტანდარტული ტექნოლოგია არის მაღალტემპერატურული (1100C ) მაღალი ტემპერატურა კი უარყოფითად მოქმედებს ხელსაწყოს თვისებებზე. აქედან გამომდინარე დიელექტრიკის მიღების ტემპერატურის შემცირება გადამწყვეტი ფაქტორია ნანოხელსაწყოს დამზადებისას.